Алмазоподобный углерод (DLC) — это материал с уникальными свойствами, сочетающий в себе прочность алмаза и технологичность углерода. Широкозонный полупроводник, прозрачный в видимом и инфракрасном диапазонах, он находит применение в качестве защитных покрытий для дисплеев, оптики и микроэлектромеханических устройств. Легирование DLC бором открывает перспективы для фотовольтаики.
Мировое патентование в области алмазоподобных плёнок активно ведется последние 20 лет, ежегодно регистрируется около 1500 патентов, включая цитируемые источники. Лидирует японская компания Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., за ней следуют американские и немецкие компании. Большое количество патентов связано с защитой TFT-дисплеев от электростатических разрядов, где DLC играет ключевую роль.
В России ситуация с патентованием в этой области значительно отличается. В базе ФИПС имеется лишь небольшое количество патентов, связанных с DLC, и еще меньше – непосредственно касающихся полупроводниковых приборов. Занимаются разработкой, в основном, вузы, научные институты и малые предприятия. Примечательно, что промышленные предприятия радиоэлектроники в патентовании не замечены.
Несмотря на ограниченное количество патентов в России, проводятся исследования, направленные на применение DLC в электронике. Это разработки программ для ЭВМ, создание метаструктур на основе DLC, а также исследования по кристаллизации пленок твердых растворов оксидных сегнетоэлектриков на алмазоподобных подложках. Однако, необходимо ускорить внедрение DLC в промышленность, опираясь на опыт зарубежных производителей.
Изображение носит иллюстративный характер
Мировое патентование в области алмазоподобных плёнок активно ведется последние 20 лет, ежегодно регистрируется около 1500 патентов, включая цитируемые источники. Лидирует японская компания Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., за ней следуют американские и немецкие компании. Большое количество патентов связано с защитой TFT-дисплеев от электростатических разрядов, где DLC играет ключевую роль.
В России ситуация с патентованием в этой области значительно отличается. В базе ФИПС имеется лишь небольшое количество патентов, связанных с DLC, и еще меньше – непосредственно касающихся полупроводниковых приборов. Занимаются разработкой, в основном, вузы, научные институты и малые предприятия. Примечательно, что промышленные предприятия радиоэлектроники в патентовании не замечены.
Несмотря на ограниченное количество патентов в России, проводятся исследования, направленные на применение DLC в электронике. Это разработки программ для ЭВМ, создание метаструктур на основе DLC, а также исследования по кристаллизации пленок твердых растворов оксидных сегнетоэлектриков на алмазоподобных подложках. Однако, необходимо ускорить внедрение DLC в промышленность, опираясь на опыт зарубежных производителей.
